水下(xià)能譜儀的突(tū)出(chū)優(yōu)點是波長分辨率很高
。但(dàn)由於結構(gòu)的特(tè)點，譜(pǔ)儀要想有足(zú)夠的色(sè)散(sàn)率，聚(jù)焦(jiāo)圓的半徑(jìng)就要足(zú)夠大，這(zhè)時(shí)彎(wān)晶(jīng)離X射綫(xiàn)光(guāng)源(yuán)的距離就(jiù)會(huì)變大(dà)，它對X射(shè)綫光源所(suǒ)張的(dí)立體(tǐ)角(jiǎo)就會很(hěn)小(xiǎo)，因(yīn)此對X射(shè)綫光源發射的(dí)X射(shè)綫(xiàn)光量子(zǐ)的收(shōu)集(jí)率(shuài)也就(jiù)會(huì)很低(dī)，致使X射綫信(xìn)號的(dí)利(lì)用率低
。

 

　　X射綫能量(liáng)色散譜分(fēn)析方法是(shì)電(diàn)子顯微技(jì)術基本(běn)和(hé)一(yī)直使用的，具有成(chéng)分(fēn)分析(xī)功(gōng)能的方(fāng)法，通常稱為(wéi)X射綫能譜(pǔ)分析(xī)法，簡稱EDS或(huò)EDX方法(fǎ)
。它是(shì)分析電(diàn)子(zǐ)顯微(wēi)方法中基本，可靠，重要(yào)的分(fēn)析方法(fǎ)，所(suǒ)以一(yī)直(zhí)被廣泛使(shǐ)用
。

 

　　特(tè)征(zhēng)X射(shè)綫的(dí)產(chǎn)生(shēng)是(shì)入射(shè)電(diàn)子使(shǐ)內層(céng)電子(zǐ)激(jī)發(fā)而(ér)發(fā)生(shēng)的現(xiàn)象
。即內殼層電子被轟擊(jī)後(hòu)跳(tiào)到(dào)比費(fèi)米能高的能(néng)級上(shàng)，電(diàn)子(zǐ)軌道內出現(xiàn)的空(kōng)位被(bèi)外殼(ké)層軌道的電(diàn)子填(tián)入時，作(zuò)為多餘的(dí)能(néng)量(liáng)放出的就是特(tè)征(zhēng)X射綫
。

 

　　特(tè)征(zhēng)X射(shè)綫具有元(yuán)素(sù)固有(yǒu)的能量(liáng)，所以，將它們展開成(chéng)能譜後，根據它(tā)的能(néng)量(liáng)值就可(kě)以確定(dìng)元素(sù)的(dí)種(zhǒng)類，而(ér)且根據譜(pǔ)的(dí)強(qiáng)度(dù)分(fēn)析就(jiù)可以確(què)定其(qí)含量(liáng)
。另外，從空位在內(nèi)殼層形成的激(jī)發狀態變到(dào)基態的(dí)過程(chéng)中(zhōng)，除(chú)產(chǎn)生X射(shè)綫外(wài)，還(huán)放出(chū)俄歇電(diàn)子(zǐ)
。

 

　　一(yī)般來(lái)說，隨(suí)著(zhuó)原(yuán)子序數(shù)增(zēng)加，X射綫產(chǎn)生的幾(jī)率（熒光(guāng)產額(é)）增(zēng)加，但是(shì)，與(yǔ)它相(xiāng)伴(bàn)的(dí)俄(é)歇(xiē)電(diàn)子的(dí)產(chǎn)生(shēng)幾率卻(què)減(jiǎn)小
。因(yīn)此(cǐ)，在(zài)分析(xī)試樣中(zhōng)的微量雜(zá)質(zhì)元素時可以(yǐ)說，EDS對重元素的分(fēn)析特別有效(xiào)
。

 

　　連(lián)續(xù)X射綫(xiàn)和從(cóng)試(shì)樣(yàng)架產(chǎn)生(shēng)的(dí)散射X射(shè)綫也(yě)都進(jìn)入(rù)X射(shè)綫(xiàn)探(tàn)測(cè)器，形成(chéng)譜的(dí)背底，因(yīn)此要(yào)根據情況(kuàng)注意(yì)是否形成人為的假象
。為了要減少(shǎo)從試樣架(jià)散射(shè)的X射綫(xiàn)，可以采用(yòng)鈹製(zhì)的(dí)試(shì)樣架
。對於(yú)支持試(shì)樣(yàng)的(dí)柵(zhà)網，也(yě)采用與(yǔ)分(fēn)析對象的(dí)元素不同的材(cái)料製(zhì)作(zuò)
。