水下能譜儀是一(yī)種(zhǒng)分(fēn)析物質元素(sù)的(dí)儀器，常(cháng)與掃(sǎo)描電(diàn)鏡或者(zhě)透射電(diàn)鏡聯用(yòng)，在真空室下用電子束轟擊樣(yàng)品(pǐn)表麵(miàn)，激(jī)發物(wù)質(zhì)發射出特征(zhēng)x射綫(xiàn)，根(gēn)據特(tè)征x射綫的(dí)波長(cháng)，定性與半(bàn)定(dìng)量分析(xī)元(yuán)素(sù)周期表中(zhōng)B-U的(dí)元(yuán)素(sù)，EDS可(kě)提供(gōng)樣(yàng)品(pǐn)表(biǎo)麵(miàn)之微區定性或半定(dìng)量之(zhī)成(chéng)份元(yuán)素分(fēn)析(xī)，以及特定區域(yù)之(zhī)point
，linescan
，mapping分析。

 

　　水下能譜(pǔ)儀測試(shì)的(dí)時候經(jīng)常測到(dào)有碳，氧或者是其他一些樣品原(yuán)本沒(méi)有的元素，樣(yàng)品在存(cún)在(zài)，製(zhì)樣，轉運的(dí)過程中和空氣(qì)接觸(chù)，樣(yàng)品(pǐn)表(biǎo)麵會隨機吸(xī)附(fù)空(kōng)氣中(zhōng)的一些(xiē)低沸點VOC，包(bāo)括(kuò)烷烴類(lèi)，芳(fāng)烴類(lèi)，烯烴(tīng)類，鹵(lǔ)烴類，酯(zhǐ)類，醛類(lèi)和酮類(lèi)等(děng)物質，當吸附(fù)量達到(dào)EDS檢測下*候，就(jiù)會(huì)探測(cè)器檢測到(dào)。我們最常見(jiàn)到的(dí)便(biàn)是碳氧元素(sù)。

 

　　如(rú)果測(cè)到一些(xiē)樣品(pǐn)不該(gāi)還有的金(jīn)屬元(yuán)素(sù)，比如鋁，銅等(děng)，我就(jiù)要考(kǎo)慮是否來自於測試的載(zǎi)具，有時候可(kě)能(néng)會由於樣(yàng)品的太薄(báo)了(liǎo)，測(cè)試(shì)時候檢(jiǎn)測(cè)到(dào)了(liǎo)基(jī)底的元(yuán)素。如(rú)果測(cè)到(dào)一些稀土元素，比如鑭，錒，則有可(kě)能是因為(wéi)噪(zào)音的峰太強(qiáng)了(liǎo)，儀器(qì)出(chū)現一(yī)些(xiē)誤判(pàn)，這(zhè)種情況直(zhí)接把此類元素(sù)刪除即可。

 

　　如果測(cè)試(shì)含硫(liú)的物(wù)質，出(chū)現鉬(mù)，測試含銦的物質，出現(xiàn)鉀，測試含溴(xiù)的(dí)物(wù)質，出現(xiàn)鋁(lǚ)。此時(shí)我(wǒ)們(mén)要考(kǎo)慮是否是遇到(dào)了(liǎo)重疊峰的現象(xiàng)。這種情況(kuàng)是因(yīn)為某些(xiē)元素(sù)的(dí)某些(xiē)綫係臨街(jiē)激(jī)發能相(xiāng)差太小了(liǎo)，導致結果(guǒ)出(chū)現誤判(pàn)。解決方(fāng)法是(shì)增(zēng)加(jiā)大加速電(diàn)壓（該(gāi)元素臨(lín)界(jiè)激發(fā)能的(dí)2-3倍），激發(fā)某些元(yuán)素在其他綫係的能譜峰：如(rú)Al（K1.49）和Br（L1.48）接(jiē)近(jìn)，可(kě)以增(zēng)大電壓至(zhì)30kV，通過(guò)Br（K11.9）的能(néng)譜(pǔ)峰(fēng)判定(dìng)是(shì)否(fǒu)有(yǒu)Br。