水下γ能譜(pǔ)儀(yí)全(quán)稱為能量(liáng)分散譜儀(yí)，目前(qián)常用(yòng)的是(shì)Si(Li)X射綫能譜儀(yí)，其關鍵(jiàn)部件(jiàn)是(shì)Si(Li)檢測(cè)器，即鋰漂(piāo)移(yí)矽固(gù)態(tài)檢測(cè)器(qì)，它(tā)實(shí)際(jì)上(shàng)是(shì)一個(gè)以Li為施主(zhǔ)雜(zá)質(zhì)的n-i-p型二極(jí)管(guǎn)。

 

　　分析速(sù)度(dù)快能譜(pǔ)儀(yí)可(kě)以(yǐ)同(tóng)時(shí)接受(shòu)和(hé)檢(jiǎn)測所有不(bù)同能量(liáng)的X射綫光子信號，故可在幾(jī)分鐘內分(fēn)析(xī)和(hé)確定樣(yàng)品(pǐn)中(zhōng)含有的所(suǒ)有元(yuán)素，帶鈹(pí)窗口的探測器可(kě)探測的(dí)元(yuán)素範圍為(wéi)11Na~92U，20世紀(jì)80年代推(tuī)向(xiàng)市場(cháng)的新(xīn)型(xíng)窗口材料可(kě)使能譜(pǔ)儀能夠(gòu)分析Be以上(shàng)的(dí)輕元素(sù)，探(tàn)測元素(sù)的(dí)範(fàn)圍(wéi)為(wéi)4Be~92U。

 

　　靈(líng)敏度高X射綫(xiàn)收集(jí)立(lì)體(tǐ)角大(dà)。由於(yú)能譜(pǔ)儀中Si(Li)探頭(tóu)可以(yǐ)放在(zài)離發(fā)射源(yuán)很(hěn)近的地方(10㎝左(zuǒ)右(yòu))，無(wú)需(xū)經過(guò)晶體(tǐ)衍(yǎn)射，信號(hào)強(qiáng)度幾(jī)乎沒有損(sǔn)失，所以靈敏度高(可(kě)達104cps/nA，入(rù)射電子束單位強度(dù)所(suǒ)產(chǎn)生(shēng)的(dí)X射(shè)綫計(jì)數(shù)率(shuài))。

 

　　水下γ能譜儀(yí)可在低入(rù)射電子束流(liú)(10-11A)條(tiáo)件(jiàn)下(xià)工作，這有(yǒu)利於(yú)提高(gāo)分析的(dí)空(kōng)間分(fēn)辨(biàn)率(shuài)。譜綫(xiàn)重復性(xìng)好由於(yú)能譜(pǔ)儀(yí)沒有運動(dòng)部件(jiàn)，穩(wěn)定性(xìng)好(hǎo)，且沒有(yǒu)聚焦要求，所(suǒ)以譜(pǔ)綫峰值(zhí)位(wèi)置(zhì)的重復性(xìng)好且(qiě)不(bù)存(cún)在失(shī)焦問題(tí)，適合(hé)於比(bǐ)較粗(cū)糙(cāo)表麵的分析(xī)工作。

 

　　波譜儀全稱為(wéi)波(bō)長(cháng)分散譜儀(WDS)。在(zài)電(diàn)子(zǐ)探(tàn)針(zhēn)中(zhōng)，X射(shè)綫(xiàn)是(shì)由(yóu)樣(yàng)品表麵(miàn)以下(xià)m數量(liáng)級的作(zuò)用體(tǐ)積中(zhōng)激(jī)發出來(lái)的，如果這個(gè)體(tǐ)積中(zhōng)的樣品是(shì)由(yóu)多種元素(sù)組(zǔ)成，則可激發出各個相(xiāng)應元(yuán)素的(dí)特征X射(shè)綫。

 

　　被激發的(dí)特(tè)征X射綫照(zhào)射到連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)的(dí)分光晶(jīng)體(tǐ)上實現分(fēn)光（色(sè)散(sàn)），即(jí)不同(tóng)波長(cháng)的X射綫將(jiāng)在(zài)各(gè)自滿足布拉格(gé)方(fāng)程的(dí)2方(fāng)向上(shàng)被（與(yǔ)分光(guāng)晶體以2：1的角速度(dù)同步轉(zhuǎn)動的）檢測器接收。波譜(pǔ)儀的特點波譜(pǔ)儀的突(tū)出優點(diǎn)是波(bō)長分(fēn)辨率(shuài)很高。

 

　　但(dàn)由(yóu)於結構的特點(diǎn)，譜儀要想有(yǒu)足夠的(dí)色(sè)散(sàn)率，聚焦(jiāo)圓(yuán)的(dí)半徑就要足(zú)夠大，這時(shí)彎(wān)晶離X射(shè)綫(xiàn)光源的距離就會(huì)變大(dà)，它對X射綫(xiàn)光源(yuán)所張(zhāng)的立體(tǐ)角就(jiù)會(huì)很(hěn)小(xiǎo)，因(yīn)此對(duì)X射綫光(guāng)源發(fā)射的(dí)X射(shè)綫光(guāng)量子(zǐ)的收集(jí)率(shuài)也就會很低，致使(shǐ)X射(shè)綫(xiàn)信號的利用(yòng)率(shuài)極低(dī)。此(cǐ)外，由於(yú)經過晶(jīng)體衍(yǎn)射後強度損失很大，所以，波(bō)譜儀(yí)難(nán)以在低束流(liú)和(hé)低激發(fā)強度下使(shǐ)用(yòng)，這是(shì)波(bō)譜儀的兩個缺點。